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硅基MEMS惯性器件研制，基于现有的MEMS工艺平台和自主发展的硅基深刻蚀成套工艺，研制MEMS加速度计、MEMS重力仪、（行星级）MEMS微震仪、以及MEMS重力梯度仪，发展基于电容位移传感和光学位移传感的高精度微位移检测技术，最终研制满足不用应用环境的高性能MEMS惯性测量仪器。
