研究成果

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文章、专利


序号 论文作者(英文) 论文题目 期刊名称、ISSN号,时间、文章页码或会议名称、时间、(按参考文献格式) 论文 DOI
1 Junjun   Yang, Christopher Jekeli, Lintao Liu Seafloor   topography estimation from gravity gradients using simulated annealing Journal of Geophysical Research: Solid Earth,ISSN:0148-0227 123(8), 6958–6975. https://doi.org/10.1029/2018JB015883
2 Xiaoxiao   Song, Qiu Wang, Huafeng Liu , Guangbin Dou,Hao Li,Wenjie Wu, Fangjing Hu, Ji   Fan, Jinquan Liu and Liang-Cheng Tu A method for alleviating the   effect of pinhole defects in inter-metal dielectric films Journal of Micromechanics and   Microengineering,ISSN:0960-1317,29(2019),015012 (6pp) https://doi.org/10.1088/1361-6439/aaf376
3 Wenjie Wu, Dandan Liu, Wenrui   Qiu, Huafeng Liu, Fangjing Hu, Ji Fan*, Chenyuan Hu* and Liangcheng Tu* A precise spacing-control method   in MEMS packaging for capacitive accelerometer applications Journal of   Micromechanics and Microengineering,ISSN:0960-1317, 2018, 28(12): 125016. https://doi.org/10.1088/1361-6439/aae9cd
4 Wenjie Wu,   Jinquan Liu, Ji Fan, Danhua Peng, Huafeng Liu, and Liangcheng Tu* A   Nano-g Micromachined Seismic Sensor for Levelling-free Measurements Sensors and Actuators A:   Physical,ISSN:0924-4247 2018, 280: 238-244. https://doi.org/10.1016/j.sna.2018.07.050
5 Xiangqing   Huang,Zhongguang Deng,Yafei Xie,Ji Fan,Chenyuan Hu* and Liangcheng Tu Study   on Misalignment Angle Compensation during Scale Factor Matching for Two Pairs   of Accelerometers in a Gravity Gradient Instrument Sensors,ISSN 1424-8220,2018, 18(4),   1247 https://doi.org/10.3390/s18041247
6 Zhongguang   Deng, Chenyuan Hu*, Xiangqing Huang, Wenjie Wu, Fangjing Hu, Huafeng Liu and   Liangcheng Tu* Scale   Factor Calibration for a Rotating Accelerometer Gravity Gradiometer Sensors,ISSN 1424-8220,2018,   18(12), 4386 https://doi.org/10.3390/s18124386
7 Peiyi   Song, Guang Yang, Tingting Lang and Ken-Tye Yong Nanogenerators   for wearable bioelectronics
    and biodevices
Journal   of Physics D: Applied Physics,ISSN:0021-8979, 52 (2019) 023002 (20pp) https://doi.org/10.1088/1361-6463/aae44d
8 Nishtha   Panwar ,Peiyi Song, Swee Chuan Tjin and Ken-Tye Yong
   
Sheath-assisted hydrodynamic   particle focusing in higher Reynolds number flows Journal of   Micromechanics and Microengineering,ISSN:0960-1317, 28 (2018) 105018 (8pp) https://doi.org/10.1088/1361-6439/aad493
9 Longteng   Yu,Chen Shi,Wang Xi,Joo Chuan Yeo, Ren Hao Soon, Zhengkun Chen,
    Peiyi Song,and Chwee Teck Lim*
Streaming   Current Based Microtubular Enzymatic Sensor
    for Self-Powered Detection of Urea
Advanced   Materials Technologies,ISSN:2365-709X,2018, 1800430 10.1002/admt.201800430
10 Huafeng   Liu ,Kai Luo ,Shihao Tang ,Danhua Peng ,Fangjing Hu,Liangcheng Tu An   Ultra-Wideband THz/IR Metamaterial Absorber Based on Doped Silicon Materials,ISSN   1996-1944,2018, 11(12), 2590 https://doi.org/10.3390/ma11122590



发明专利:

申请号 专利名称 专利类型 申请人 发明人
2011104294960 重力梯度测量系统及其测量方法 发明 华中科技大学 罗俊,涂良成
2014101418170 基于硅片刻穿的体硅加工工艺 发明 华中科技大学 涂良成,刘金全,范继,伍文杰,罗俊
2014101404572 一种深硅刻蚀方法 发明 华中科技大学 涂良成,伍文杰,范继,刘金全,罗俊
2014103404755 一种在SOI硅片上制备微机械悬空结构的方法 发明 华中科技大学 张文婷,刘金全,涂良成
2014104647006 微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法 发明 华中科技大学 范继,涂良成,刘金全,王超
2016100033292 一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪 发明 华中科技大学 涂良成,唐世豪,范继,刘金全
2016111636594 一种力平衡式传感器标度因子的调节方法 发明 华中科技大学 涂良成,黄祥青,范继,刘金全
201710461918X 一种MEMS重力仪 发明 华中科技大学 涂良成,唐世豪,刘金全,范继
2017107259523 一种封装间距可高精度控制的MEMS封装结构及封装方法 发明 华中科技大学 范继,伍文杰,涂良成,刘金全,邱文瑞
2017109975922 一种微机电加速度计及其制备方法 发明 华中科技大学 范继,涂良成,伍文杰,刘金全,徐小超,刘骅锋
2017108714709 一种三轴MEMS重力仪 发明 华中科技大学 唐世豪,涂良成,徐小超,伍文杰,刘骅锋
2017108778823 一种静电加速度计 发明 华中科技大学 涂良成,严世涛,邓忠光
2017111932893 一种消除介质层针孔缺陷影响的方法 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,宋萧萧,王秋,饶康,渠自强,伍文杰,刘金全,范继
2017112958208 一种利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的方法 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,宋萧萧,渠自强,伍文杰
2017112969950 一种重力加速度传感器 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,徐小超,饶康,刘金全
2017112969749 一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,王秋,胡宸源,范继
201721699764.X 一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统 实用新型 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,王秋,胡宸源,范继
2018101102392 一种太赫兹频段可重构数字电磁超材料及其制备方法 发明 华中科技大学 胡方靖,涂良成,宋培义,刘骅锋
2018106788488 一种三维微凸点的制备方法 发明 华中科技大学 范继,魏晓莉,刘金全,涂良成,刘骅锋,饶康
201810720730.7 一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,王秋
201810870754.0 一种微机械万向开关 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,胡宸源
201810871365.X 一种微机械万向开关的制造方法 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,严世涛
PCT/CN2018/095020 一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,王秋,胡宸源,范继
PCT/CN2018/095022 利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的方法及重力加速度传感器 发明 华中科技大学 刘骅锋,涂良成,宋萧萧,伍文杰,刘金全,饶康,渠自强,徐小超
201811471282.8 一种变面积式位移电容检测装置 发明 华中科技大学 涂良成、严世涛、许强伟、伍文杰

基于精密扭秤和质谱法相结合的胶体推进器   多物理量表征方法 发明 华中科技大学 匡双阳,涂良成,宋培义,孙雷蒙,张开,索晓晨,邹文韬

一种微型空心硅针管阵列的制造方法 发明 华中科技大学 宋培义,涂良成,匡双阳,孙雷蒙,张开

双发+AJ1870129+一种适用于微牛级电推进系统的离子中和器装置 发明 华中科技大学 孙雷蒙,涂良成,王玉容,宋培义,匡双阳,肖东阳

基于SOI工艺的场发射离子中和器芯片的制造方法 发明 华中科技大学 肖东阳,孙雷蒙,涂良成,宋培义,匡双阳,王玉容

一种适用于微牛级场发射电推进系统的喷嘴加工工艺 发明 华中科技大学 王玉容,孙雷蒙,涂良成,宋培义,匡双阳,肖东阳


仪器研制


MEMS微震仪搭载CZ-5B载人返回舱进行了在轨验证

MEMS相对重力仪已具备集成化能力,可实现相对重力测量