报告人

田  悦

单位

北京汇德信科技有限公司

报告时间

2015年9月23日

10:00

报告地点

引力中心三楼会议室

报告题目

电子束曝光原理及工艺流程及Raith图形发生器

和电子束曝光系统介绍

报告内容

摘 要

随着纳米结构和器件领域的发展，电子束曝光已经成为纳米加工领域中必不可少的加工手段。北京汇德信的宗旨是引进国际上先进的纳米科学设备，并服务于国内用户，产品覆盖薄膜生长、微纳米加工和材料分析等相关领域。它是德国Raith公司的国内独家代理。Raith公司是专业的纳米加工设备供应商，产品覆盖了电子束曝光和离子束加工设备，并在全球范围内已建立起了完善的销售和售后服务体系。本报告将首先介绍电子束曝光的原理及工艺流程，以及为改善曝光效果并拓展使用范围而设计的邻近效应修正和三维曝光等功能；之后报告将介绍Raith如何实现在已有的扫描电镜或双束系统上，进行改造，实现电子束曝光；最后报告将介绍Raith几种不同的专业电子束曝光系统的设计理念以及它们的独特优势，并重点介绍Eline Plus和RAITH150 Two两套系统。

报告人

简 介

田悦，北京汇德信科技有限公司项目经理。该公司成立于1999年，由多位留学人员根据专业特长而创办。公司代理德国知名产品，已在制造、检测、分析等领域形成完整的产品链，为纳米制造分析及材料检测用户提供完整解决方案，产品遍布国内各高校、研究所实验室。