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2017 一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪专利证书 [2017-12-18]
2017 一种实时测量模数转换器孔径抖动的方法及其系统 [2017-11-23]
2017 一种阵列式原子干涉重力梯度张量全分量的测量系统 [2017-11-22]
2017 一种双内态Bragg原子干涉惯性传感器 [2017-11-22]
2017 一种基于双物质波源的原子干涉重力测量装置 [2017-11-22]
2017 一种原子干涉仪真空容器的支撑装置 [2017-11-22]
2017 一种基于边带抑制的原子干涉仪光源 [2017-11-22]
2017 一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪 [2017-11-08]
2016 微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法 [2016-05-19]
2016 一种SOI硅片上制备微机械悬空结构的方法 [2016-03-20]
2016 一种深硅刻蚀方法 [2016-03-15]
2015 基于硅片刻穿的体硅加工工艺 [2015-12-19]
2015 一种用于低温存储杜瓦的样品杆 [2015-07-10]
2015 一种二维静电相对倾斜仪 [2015-06-20]
2015 一种基于两点固定差分测量的单摆绝对重力仪 [2015-05-24]
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