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MAG小组参加中国微米纳米技术学会第十九届学术年会收获颇丰

发布时间:2017-11-01          来源:           浏览次数:

        2017年10月26-29日华中科技大学物理学院引力实验中心MAG小组师生参加了中国微米纳米技术学会举办的第十九届学术年会(CSMNT2017)。此次会议在大连香洲花园酒店举办,MAG小组涂良成教授,刘骅锋副研究员,伍文杰博士,唐世豪等多名研究生参加了此次会议。

        会议期间魏晓莉和宋萧萧同学分别作了题为《基于锡凸点高度控制的MEMS封装》和《金属刻蚀法消除两层金属间绝缘薄膜针孔缺陷的影响》的Oral 报告。伍文杰博士以Poster的形式展示了他关于3D电镀方面研究的最新科研成果《3D Electroplating Process for Precise Spacing Control of Eutectic Bonding》。同时进行Poster成果展示的还有唐世豪同学的《Low Resonant Frequency MEMS Mechanism based on Buckled Beam》,饶康同学的《一个基于体硅工艺的差分变面积式MEMS加速度计》,邱文瑞同学的《圆片级电镀金在MEMS器件中的应用》,以及王秋同学的《刻蚀法和剥离法对于不同间距图形制备的对比研究的》。

此次会议上引力中心MAG小组收获丰硕,2篇Oral和5篇Poster的科研成果展示获得了国内外同行的热切关注和高度评价。现场以及线上的热烈交流既进一步扩大了引力中心MEMS团队在领域内的知名度,又使学生们开阔了视野,增长了见识,在学术讨论中迸发出的一些新想法、新思路有望成为日后科研道路上的杀手锏。

 

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