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2017 一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪

发布时间:2017-11-08          来源:           浏览次数:

本发明提供了一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪,包括悬丝、探针支架,扫描探针,多自由度微位移平移台,角度传感器,控制系 统和反馈执行机;扫描探针设置在探针支架的任意一个端面上;悬丝悬挂 探针支架构成扭摆;工作时,待测样品设置在多自由度微位移平移台上, 待测样品的待测表面正对且平行于扫描探针的端面;扫描探针的端面与待 测表面不接触;当扫描探针与待测样品之间存在相互作用时,角度传感器 将检测的扭摆的扭转信息传给控制系统;进行 PID 运算后获得的反馈控制 电压传给反馈执行机,产生一个与外力矩等大的反馈控制力矩并施加给探 针支架,使得探针支架保持相对静止;驱动微位移平移台使待测样品相对 于扫描探针移动,从而实现对样品表面不同区域的扫描测量。

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